DAIHEN雙臂真空晶圓傳輸機械手

DAIHEN雙臂真空晶圓傳輸機械手

優(yōu)勢：

650WPH真空高速穩(wěn)定傳輸，超高軌跡精度和定位精度，且具備晶圓中心錯位校正功能；